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    攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
    • 圖像形成裝置的制作方法
      本發明涉及一種對應產品印刷的圖像形成裝置。產品印刷中,評估在市場上廣泛流通的代表性記錄用紙,將由印刷所需的記錄用紙一組屬性值匯集成的紙張詳細規格目錄數據庫作為紙張目錄進行提供(例如,參照專利文獻1、2)。由此,使用者只需在操作印刷時從紙張目錄中選擇要使用的記錄用紙,就能夠基于紙張詳細規格根...
    • 加熱裝置,帶加熱裝置,定影裝置和圖像形成設備的制作方法
      本公開的實施例總體上涉及加熱裝置,帶加熱裝置,定影裝置和圖像形成設備。作為在諸如復印機或打印機的圖像形成設備中使用的加熱裝置,已知例如有在加熱下將調色劑定影在片材上的定影裝置,以及使片材上的墨水干燥的干燥裝置。在這樣的加熱裝置中,部件之間的熱膨脹系數的差異可能導致部件的定位精度降低。為了解...
    • 成像系統的制作方法
      在一些配備有包括顯影裝置主體和顯影套筒的調色劑移動機構的成像系統中,流動通道形成構件在顯影裝置主體的內壁與顯影套筒之間沿著顯影套筒的旋轉方向具有細長形狀,以防止顯影裝置主體內部的空氣壓力增加,并防止調色劑散落到顯影裝置主體的外部。附圖說明圖1是包括示例顯影裝置的示例成像設備的示意圖。圖2是示例顯影...
    • 同時獲取平行對準標記的設備和方法與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月20日提交的美國申請62/782715的優先權,且該申請的全部內容以引用的方式而合并入本文中。本公開涉及使用光刻技術制造器件。具體地,本公開涉及用于檢測對準標記以表征和控制半導體光刻過程的裝置。光刻設備可以用于例如集成電路(ic)制造中。對于該...
    • 用于對準信號的噪聲校正的制作方法
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月21日提交的美國臨時專利申請號62/784,010的優先權,其通過引用整體并入本文。本公開涉及可以在例如光刻裝置中被使用的量測系統。光刻裝置是將期望圖案施加到襯底的目標部分上的機器。例如,光刻裝置可以被用于制造集成電路(ic)。在這種情況下,圖...
    • 本申請發明涉及一種在使用極紫外光作為光源的光致抗蝕劑圖案工藝中,用于對包括聚羥基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蝕劑圖案進行坍塌程度改善及缺陷數減少的工藝液體;及使用其的光致抗蝕劑圖案形成方法。通常,半導體通過將193nm、248nm或365nm等波長帶的紫外線作為曝...
    • 量測傳感器、照射系統、和產生具有能夠配置的照射斑直徑的測量照射的方法與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月20日遞交的歐洲申請18214547.4的優先權,所述申請的全部內容通過引用并入本文中。背景本發明涉及能在例如由光刻技術進行的器件制造中使用的方法和設備,并且涉及使用光刻技術來制造器件的方法。本發明更具體地涉及量測傳感器。光刻設備是一種將期望的...
    • 用于計量的方法和裝置與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月21日提交的ep申請18215345.2和于2019年2月19日提交的ep申請19158015.8的優先權,并且通過引用將其全部內容并入本文。本發明涉及在計量中使用的方法和裝置,特別是在光刻圖案化工藝的計量中使用的方法和裝置。在特定布置中,本發明涉及在...
    • 測量圖案化過程的參數的方法、量測設備、目標與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求2018年12月18日遞交的歐洲申請18213270.4和2019年3月13日遞交的歐洲申請19162436.0的優先權,這兩個歐洲申請的全部內容通過引用并入本文中。本說明書涉及測量圖案化過程的參數,諸如重疊或聚焦。光刻設備是將期望的圖案施加至襯底上(通常施加至...
    • 用于控制制造過程的方法和相關設備與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月19日提交的ep申請18214013.7和于2019年2月8日提交的美國申請62/802,866的優先權,這些申請通過引用整體并入本文。本公開涉及用于生產例如半導體器件的襯底的處理。光刻設備是一種被構造為將期望圖案施加到襯底上的機器。光刻設備可...
    • 用于對圖像圖案分組以確定圖案化過程中晶片行為的設備和方法與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求2018年12月14日遞交的美國申請62/779,637的優先權,所述美國申請的全部內容通過引用并入本文中。本文中的說明書總體上涉及掩模制造和圖案化過程。更具體地,本說明書涉及用于利用經訓練的機器學習模型對圖案化過程中引起匹配晶片和/或晶片缺陷行為的圖像圖案進行分組的設...
    • 量測方法、圖案形成裝置、設備和計算機程序與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年10月08日提交的歐洲專利申請18199182.9的優先權,其全部內容通過引用并入本文。本發明涉及可用于例如通過光刻技術制造器件的量測學的方法和設備,并且涉及使用光刻技術制造器件的方法。本發明進一步涉及可在這種方法中使用的圖案形成裝置和計算機程序產品。背景技...
    • 本發明涉及固化性樹脂組合物和其干膜、它們的固化物以及具有該固化物的電子部件。在印刷電路板中,在具有電路圖案的導體層的基材上形成有阻焊劑。不限定于這種阻焊劑,作為印刷電路板的層間絕緣材料、柔性印刷電路板的覆蓋層等永久保護膜的材料,以往提出了各種固化性樹脂組合物。各種固化性樹脂組合物中,出于對...
    • 感光性樹脂組合物、圖案固化物的制造方法、固化物、層間絕緣膜、覆蓋涂層、表面保護膜及電子部件與流程
      本發明涉及感光性樹脂組合物、圖案固化物的制造方法、固化物、層間絕緣膜、覆蓋涂層、表面保護膜及電子部件。以往,半導體元件的表面保護膜和層間絕緣膜使用兼具優異的耐熱性和電特性、機械特性等的聚酰亞胺、聚苯并唑。近年來,使用對于這些樹脂本身賦予了感光特性的感光性樹脂組合物,如果使用該感光性樹脂組合...
    • 感光性樹脂組合物、圖案固化物的制造方法、固化物、層間絕緣膜、覆蓋涂層、表面保護膜及電子部件與流程
      本發明涉及感光性樹脂組合物、圖案固化物的制造方法、固化物、層間絕緣膜、覆蓋涂層、表面保護膜以及電子部件。以往,半導體元件的表面保護膜和層間絕緣膜使用兼具優異的耐熱性和電特性、機械特性等的聚酰亞胺、聚苯并唑。近年來,使用對于這些樹脂本身賦予了感光特性的感光性樹脂組合物,如果使用該感光性樹脂組...
    • 制造隔膜組件的方法與流程
      相關申請的交叉引用本申請要求于2018年12月20日遞交的ep申請18214904.7的優先權,該ep申請的全部內容以引用的方式并入本文中。本發明涉及制造隔膜組件的方法,并且涉及隔膜組件前驅體。本發明具有結合euv光刻設備和euv光刻工具的特定但非排他性的用途。光刻設備是構造成將期望的圖案...
    • 采用基板對齊特征和印刷區域對齊特征的噴射控制的制作方法
      相關申請的交叉引用本申請要求在2018年12月20日提交的美國臨時專利申請第62/782,442號,在2019年8月26日提交的美國臨時專利申請第62/891,807號,以及在2019年12月16日提交的美國非臨時申請第16/716,143號的優先權,上述申請的全部內容以引用的方式并入于此??傮w上...
    • 信息投影系統、控制裝置以及信息投影方法與流程
      本發明主要涉及一種信息投影系統,其用於在工作場所投影信息。過往,在進行零件的加工、涂裝、組裝等工作的工作場所中,已知一種使用虛擬圖象來支援工作的系統。專利文獻1公開了這種使用頭戴式顯示器(以下稱為hmd)的系統。在專利文獻1中,作為示例顯示了一種系統,其用于支援在主體零件上組裝筒狀零件的工...
    • 透鏡單元和攝像機模塊的制作方法
      本發明涉及例如可構成汽車等車輛中搭載的車載攝像機的透鏡單元和攝像機模塊。以往,在汽車中搭載有車載攝像機來輔助駐車,并通過圖像識別來防止碰撞,進而嘗試將這種方式用于自動駕駛。另外,這種車載攝像機等的攝像機模塊通常具備透鏡單元,該透鏡單元具有:由多個透鏡沿著光軸排列而成的透鏡組、容納保持該透鏡...
    • 用于制造圖案化SrB4BO7和PbB4O7晶體的方法與流程
      發明背景本公開涉及具有帶有交替極性的體積周期性結構域/孿晶結構的四硼酸鍶(srb4o7或sbo)和四硼酸鉛(pbb4o7或pbo)晶體,制造這些晶體的方法,以及包含本發明的晶體的高功率固態激光器。激光器對于許多技術進步的發展起關鍵的作用。為了解決材料加工行業、醫藥、數據存儲、光通信、娛樂和...
    技術分類
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