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  • 擴散硅板舟的制作方法

    文檔序號:10181990
    擴散硅板舟的制作方法
    【技術領域】
    [0001]本實用新型涉及一種擴散硅板舟,尤其涉及一種防止進出擴散爐時出現推拉桿撞擊硅片導致破片的擴散硅板舟。
    【背景技術】
    [0002]目前使用的硅板舟(如中國專利“高溫擴散舟”,專利號“ZL201020612510.1”)在生產過程中已頻繁出現操作工在進出爐時,推拉桿沒有準確掛到拉孔上,而撞擊到硅片邊緣,出現硅片破損缺角,導致在后道工序中出現更多地破片,造成生產成本高,生產效率低下。
    【實用新型內容】
    [0003]本實用新型針對以上問題,提供了一種增加保護硅片裝置、降低生產成本的擴散娃板舟。
    [0004]本實用新型的技術方案是:包括矩形底板和兩排立柱一,所述矩形底板的一端設有拉孔,所述兩排立柱一對稱設在所述矩形底板長邊的兩側,四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間,在所述矩形底板上設有硅片的保護機構,所述保護機構位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。
    [0005]所述保護機構為立板,所述立板上均勻設有若干通孔,所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。
    [0006]所述保護機構為兩根立柱二,所述兩根立柱二的間距小于拉孔的孔徑。
    [0007]所述立柱一和立柱二為錐形的碳化硅棒。
    [0008]本實用新型的有益效果是:在拉孔和硅片放置位置之間增加保護機構,有效避免在進出擴散爐時,因推拉桿沒有準確掛到拉孔上,而撞擊到硅片邊緣,出現硅片破損缺角的情況,保證了整個工序的產品品質,提高生產效率。
    【附圖說明】
    [0009]圖1是本實用新型第一種實施方式的主視圖,
    [0010]圖2是圖1的A-A剖視圖,
    [0011 ]圖3是本實用新型第二種實施方式的主視圖,
    [0012]圖4是圖3的B-B剖視圖;
    [0013]圖中1是底板,2是立柱一,3是拉孔,4是立板,5是立柱二,6是硅片。
    【具體實施方式】
    [0014]下面結合附圖對本實用新型作具體說明。
    [0015]本實用新型包括矩形底板1和兩排立柱一2,所述矩形底板1的一端設有拉孔3,方便推拉桿勾住,將整個擴散硅片舟推進或拉出擴散爐;所述兩排立柱一 2對稱設在所述矩形底板1長邊的兩側,四根相鄰立柱一2形成硅片6的容置空間,若干硅片6堆疊在這個容置空間中;在所述矩形底板1上設有硅片6的保護機構,所述保護機構位于所述拉孔3和與所述拉孔3相鄰的立柱一 2之間。
    [0016]圖1-2是本實用新型的第一種實施方式,所述保護機構為立板4,所述立板4上均勻設有若干通孔,方便擴散源的擴散,所述立板4的中心線與所述拉孔3的中心線在所述矩形底板1的軸線上,有效阻擋推拉桿碰到硅片。
    [0017]圖3-4是本實用新型的第二種實施方式,所述保護機構為兩根立柱二5,所述兩根立柱二 5的間距小于拉孔3的孔徑,在不影響擴散源擴散的情況下有效阻擋推拉桿碰到硅片。
    [0018]所述立柱一2和立柱二 5為錐形的碳化硅棒,碳化硅耐高溫,提高本實用新型的使用壽命;錐形碳化硅棒比長方體的碳化硅棒接觸面積大,提升擴散效果,并方便將立柱一 2、立板4和立柱二 5設為相對于矩形底板1可拆卸的,有利于運輸及清洗。
    【主權項】
    1.擴散硅板舟,包括矩形底板和兩排立柱一,所述矩形底板的一端設有拉孔,所述兩排立柱一對稱設在所述矩形底板長邊的兩側,四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間,其特征在于,在所述矩形底板上設有硅片的保護機構,所述保護機構位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。2.根據權利要求1所述的擴散硅板舟,其特征在于,所述保護機構為立板,所述立板上均勻設有若干通孔,所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。3.根據權利要求1所述的擴散硅板舟,其特征在于,所述保護機構為兩根立柱二,所述兩根立柱二的間距小于拉孔的孔徑。4.根據權利要求3所述的擴散硅板舟,其特征在于,所述立柱一和立柱二為錐形的碳化娃棒。
    【專利摘要】擴散硅板舟。涉及一種擴散硅板舟,尤其涉及一種防止進出擴散爐時出現推拉桿撞擊硅片導致破片的擴散硅板舟。增加保護硅片裝置、降低生產成本。所述矩形底板的一端設有拉孔,所述兩排立柱一對稱設在所述矩形底板長邊的兩側,四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間,在所述矩形底板上設有硅片的保護機構,所述保護機構位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。所述保護機構為立板,所述立板上均勻設有若干通孔,所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。有效避免在進出擴散爐時,因推拉桿沒有準確掛到拉孔上,而撞擊到硅片邊緣,出現硅片破損缺角的情況,保證了整個工序的產品品質,提高生產效率。
    【IPC分類】H01L21/673
    【公開號】CN205092227
    【申請號】CN201520899458
    【發明人】喻慧丹, 裘立強, 王毅
    【申請人】揚州杰利半導體有限公司
    【公開日】2016年3月16日
    【申請日】2015年11月12日
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